|
| Ders Bilgileri |
|
| Dersin Adı |
: |
Microfabrication and basic processes in VLSI technology |
|
| Dersin Kodu |
: |
EE-653 |
|
| Dersin Türü |
: |
Seçmeli |
|
| Dersin Aşaması |
: |
İkinci Aşama (Yüksek Lisans) |
|
| Dersin Yılı |
: |
1 |
|
| Dersin Dönemi |
: |
Güz (16 Hafta) |
|
| Dersin AKTS Kredisi |
: |
6 |
|
| Eğitici(ler)nin Adı |
: |
Dr.Öğr. ÜyesiDr. MUTLU AVCI
|
|
| Dersin Öğrenme Kazanımları |
: |
Mikrofabrikasyonun temel süreçlerini açıklayabilme
Temel süreçleri iki ve üç boyutlu benzetime tabi tutabilme
CMOS bir üretim süreci planlama
Cihazların elektronik modellerini çıkarabilme
|
|
| Dersin Veriliş Şekli |
: |
Örgün (Yüz Yüze) |
|
| Dersin Önkoşulları |
: |
Yok |
|
| Ders Hakkında Önerilen Diğer Hususlar |
: |
Yok |
|
| Dersin Amacı |
: |
Tümleşik devre üretim süreçlerini ve benzetim yöntemlerini kavrama |
|
| Dersin İçeriği |
: |
Mikroelektronik teknolojisine bakış, silikon ve III-V bileşik yarıiletken teknolojilerinin karşılaştırılması, mikroelektronik üretimin temel süreçleri, litografi ve kalıp transferi ekipmanları, gaz ve plazma temelleri, CVD ve PVD yöntemleri ile ince film üretimi, oksit, nitrit ve polisilikon ince filmler ve VLSI teknolojisinde kullanımları, katkılama süreci, iyon ekimi, diffüzyon ve epitaksi, ıslak ve kuru aşındırma, kontak oluşturma ve VLSI da çok katmanlı metal serme, VLSI ve ULSI için yalıtım teknikleri, CMOS ve BiCMOS süreç entegrasyon örnekleri, MEMS üretimi. |
|
| Dersin Dili |
: |
İngilizce |
|
| Dersin Yeri |
: |
Elektrik-elektronik Mühendisliği Bölümü Lisans üstü eğitim dersliği |
|
|
Ders Planı |
| Hafta | Konu | Öğrencinin Ön Hazırlığı | Öğrenme Aktiviteleri ve Öğretme Yöntemleri |
|
1 |
Mikrofabrikasyona giriş |
Kitabın ilgili bölümünü okumak |
Yansı sunumu |
|
2 |
Monokristal yarıiletken üretimi |
Kitabın ilgili bölümünü okumak |
Yansı sunumu |
|
3 |
Epitaksiyel büyütme |
Kitabın ilgili bölümünü okumak |
Yansı sunumu |
|
4 |
Oksitleme |
Kitabın ilgili bölümünü okumak |
Yansı sunumu |
|
5 |
Diffüzyon |
Kitabın ilgili bölümünü okumak |
Yansı sunumu |
|
6 |
Litografi |
Kitabın ilgili bölümünü okumak |
Yansı sunumu |
|
7 |
Problem saati |
|
Problem çözme |
|
8 |
Dönemiçi sınavı |
|
Klasik sınav |
|
9 |
İyon ekme |
Kitabın ilgili bölümünü okumak |
Yansı sunumu |
|
10 |
İnce film serme |
Kitabın ilgili bölümünü okumak |
Yansı sunumu |
|
11 |
Metal serme |
Kitabın ilgili bölümünü okumak |
Yansı sunumu |
|
12 |
Giriş/Çıkış bağlantısı |
Kitabın ilgili bölümünü okumak |
Yansı sunumu |
|
13 |
ESD koruması |
Kitabın ilgili bölümünü okumak |
Yansı sunumu |
|
14 |
Bir CMOS üretim prosesi tasarlama |
Kitabın ilgili bölümünü okumak |
Yansı sunumu |
|
15 |
Bir BJT üretim süreci tasarlama |
Kitabın ilgili bölümünü okumak |
Yansı sunumu |
|
16/17 |
Cihazların elektriksel karakteristiklerinin çıkarımı |
Kitabın ilgili bölümünü okumak |
Yansı sunumu |
|
|
|
Önerilen Kaynak ve Okumalar |
| Kaynak Türü | Kaynak Adı |
| Ders Notu ve Kitaplar |
 R. C. Jaeger, Introduction to Microelectronic Fabrication (Vol. V of the Modular Series on Solid State Devices), 2nd Ed. Upper Saddle River, New Jersey: Prentice Hall, 2002.
|
| |
| Diğer Kaynaklar | |
|
|
|
Değerlendirme (Sınav) Yöntemleri ve Kriterleri |
|
Yarıyıl/Yıl İçi Değerlendirmeleri |
Sayısı |
Katkı Yüzdesi |
|
Ara Sınavlar (Yazılı, Sözlü, vs.) |
1 |
70 |
|
Ödev/Proje/Diğer |
3 |
30 |
|
Toplam |
100 |
|
Yarıyıl/Yıl İçi Değerlendirmelerinin Başarıya Katkısı |
40 |
| |
|
Yarıyıl/Yıl Sonu Değerlendirmesi
|
100 |
|
Yarıyıl/Yıl Sonu Değerlendirmesinin Başarıya Katkısı
|
60 |
|
Toplam |
100 |
|
|
| Dersin Temel Öğrenme Kazanımlarına Katkısı |
| No | Temel Öğrenme Kazanımı | Katkısı* |
|
1 |
Uygun bir dil ve tarz ile insanlarla iletişim kurabilme |
2 |
|
2 |
Elektrik-elektronik mühendisliğinin temellerini oluşturan dalların en az birinde, bilgi düzeyini lisans düzeyinin ötesine çıkararak uzmanlaşabilme. |
5 |
|
3 |
Uzmanlaştığı alanın içerdiği tüm konuların birlikte oluşturduğu bütünlüğü kavrayabilme. |
4 |
|
4 |
Uzmanlaştığı alandaki mevcut bilimsel literatüre hakim olabilme ve takip edebilme |
4 |
|
5 |
Alanının, ilişkili olduğu diğer dallarla olan disiplinlerarası etkileşimini kavrayabilme |
5 |
|
6 |
Kuramsal veya deneysel çalışma yapma becerisine sahip olabilme |
4 |
|
7 |
Araştırma sonucunda edinilen bilgileri derleyerek bütünlüklü bir bilimsel metin oluşturabilme |
4 |
|
8 |
Tez konusu üzerinde, danışmanının belirlediği çerçeve içinde, konunun gerektirdiği mantıksal bütünlüğe uygun olarak, programlı bir şekilde çalışabilme. |
4 |
|
9 |
Bilimsel veri tabanlarında literatür araştırması yapabilme; özelde, veri tabanlarını uygun ve doğru şekilde tarama ve listelenen unsurları değerlendirme, kategorize edebilme. |
4 |
|
10 |
Uzmanlık alanında İngilizce olarak yazılmış bir bilimsel metni rahatlıkla okuyup anlayacak düzeyde İngilizce bilme |
3 |
|
11 |
Uzmanlıştığı konudaki bilgileri, bir sunum formatında derleyip, anlaşılır ve etkin bir şekilde sunabilme. |
3 |
|
12 |
Bildiği bir programlama dilinde genelde belirli bir amaca yönelik, özelde uzmanlık alanı ile ilgili olan bir bilgisayar programı yazabilme |
4 |
|
13 |
Mevcut araştırma deneyimine dayanarak yeni konularda da araştırma yapabilme |
4 |
|
14 |
Alanı ile ilgili sorunların çözümlenmesini gerektiren ortamlarda yol gösterici olabilme, insiyatif alabilme |
3 |
|
15 |
Uzmanlık alanı ile ilgili konularda proje, politika, süreç üretebilme ve bu öğeleri değerlendirme |
5 |
| * Katkı düzeyleri 0 (yok) ve 5 (en yüksek) arasında ifade edilmiştir. |
|
|
| Öğrenci İş Yükü - AKTS |
| Çalışmalar | Sayısı | Süresi (Saat) | Toplam İş Yükü (Saat) |
| Ders ile İlgili Çalışmalar |
|
Ders (Sınav haftaları dahil değildir) |
15 |
3 |
45 |
|
Sınıf Dışı Ders Çalışma (Ön çalışma, pekiştirme) |
13 |
4 |
52 |
| Değerlendirmeler ile İlgili Çalışmalar |
|
Ödev, Proje, Diğer |
3 |
5 |
15 |
|
Ara Sınavlar (Yazılı, Sözlü, vs.) |
1 |
12 |
12 |
|
Yarıyıl/Yıl Sonu/Final Sınavı |
1 |
24 |
24 |
|
Toplam İş Yükü: | 148 |
| Toplam İş Yükü / 25 (s): | 5.92 |
| Dersin AKTS Kredisi: | 6 |
|
|
|